中古 SMC 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） XYA-40H0
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- メーカー
- SMC
- 型式
- XYA-40H0
- 機種
- 真空バルブ
- 管理番号
- Z20051152
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
XYA-40H0 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 高真空ストレート型バルブ(空気圧作動、常時閉) |
|---|---|
| フランジサイズ | KF(NW)40 |
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 |
| 使用圧力 | 1×10⁻⁶Pa〜大気圧 |
| 使用温度 | 5〜150(高温タイプ) ℃ |
| コンダクタンス | 45 L/s |
| 内部リーク量 | 1.3×10⁻¹⁰(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| 外部リーク量 | 1.3×10⁻¹¹(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| ボディ材質 | ステンレス SCS13 |
| ベローズ材質 | SUS316L |
| シール材質(標準) | FKM |
| 操作圧力 | 0.4〜0.7 MPa(G) |
| 空気消費量(0.5MPa時) | 200 cm³ |
| 質量 | 1.42 kg |
※上記は当該シリーズ（フランジサイズ40）の基本カタログ仕様に基づく参考値です。末尾記号（H0）に関わる詳細なオプション（特殊シール材質、ヒーター用加工の有無など）については、現品の状態を優先してご確認ください。
出典: smcworld.com
SMC XYA-40H0 の装置概要 AIによる記述です
本製品は、軽量かつコンパクトなアルミニウム合金ボディを採用した空圧作動式の高真空ストレートバルブです。配管と同軸上にポートが配置されるストレート構造により、真空ラインを直線的にレイアウトすることが可能で、配管スペースの削減と装置全体の省スペース化に貢献します。フランジサイズはNW40（KF40）規格に準拠しており、コンダクタンスは45 L/sを確保しています。
駆動には0.4〜0.5 MPaの圧縮空気を使用し、安定した開閉動作を実現します。大気圧から1×10^-6 Paまでの高真空領域に対応し、内部漏れ量は1.3×10^-10 Pa・m3/s以下、外部漏れ量は1.3×10^-11 Pa・m3/s以下と、極めて高い気密性を備えています。半導体製造装置、真空蒸着装置、各種分析機器などにおいて、真空チャンバーの排気ラインや、粗引き・本引きラインの確実な遮断・開放制御に幅広く用いられています。また、アルミニウム製のため同サイズのステンレス製バルブと比較して軽く、メンテナンス時の作業性向上や装置の軽量化にも寄与する設計となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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