中古 SMC 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） XYA-40H0
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- メーカー
- SMC
- 型式
- XYA-40H0
- 機種
- 真空バルブ
- 管理番号
- Z20051150
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
XYA-40H0 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 高真空ストレート型バルブ(空気圧作動、常時閉) |
|---|---|
| フランジサイズ | KF(NW)40 |
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 |
| 使用圧力 | 1×10⁻⁶Pa〜大気圧 |
| 使用温度 | 5〜150(高温タイプ) ℃ |
| コンダクタンス | 45 L/s |
| 内部リーク量 | 1.3×10⁻¹⁰(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| 外部リーク量 | 1.3×10⁻¹¹(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| ボディ材質 | ステンレス SCS13 |
| ベローズ材質 | SUS316L |
| シール材質(標準) | FKM |
| 操作圧力 | 0.4〜0.7 MPa(G) |
| 空気消費量(0.5MPa時) | 200 cm³ |
| 質量 | 1.42 kg |
※上記は同シリーズ・同サイズにおける標準的なカタログ仕様に基づく参考値です。型式末尾の特殊記号によって、シール材質の変更、ヒーターの有無、表面処理などのカスタマイズ仕様が適用されている場合があります。実際の性能や寸法については、実機の銘板や現状をご確認ください。
出典: smcworld.com
SMC XYA-40H0 の装置概要 AIによる記述です
真空排気ラインやプロセスチャンバーの隔離用として幅広く用いられる、アルミニウム合金ボディを採用した空圧式ストレートバルブです。軽量かつコンパクトな設計が特徴であり、装置の省スペース化およびメンテナンス時の負担軽減に貢献します。
ストレート型は、吸気ポートと排気ポートが同一直線上に配置されているため、配管レイアウトにおいて直線的な排気ラインを構築する際に適しています。本装置は操作圧力0.4～0.6 MPaの圧縮空気を用いて弁の開閉を行う空圧駆動方式を採用しており、圧縮空気の供給が絶たれた際には内蔵スプリングによって自動で弁が閉じる、単動ノーマルクローズ型の安全設計となっています。
大気圧から1×10^-6 Paまでの高真空領域におけるプロセスに対応可能であり、外部および内部のリーク量は常温において1.3×10^-10 Pa・m3/s以下という厳しい基準をクリアしています。清浄な真空環境の維持が求められる半導体製造装置、真空成膜装置、各種分析機器などの排気配管ラインにおいて、確実な真空遮断と安定した排気制御を実現する構造です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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