中古 SMC 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） XYA-40H0

本製品は、真空排気ラインやプロセスガス導入ラインの開閉制御に用いられるアルミニウム合金製の高真空ストレートバルブです。駆動方式は空圧式（単動ノーマルクローズ）を採用しており、操作ポートに0.4〜0.6 MPaの圧縮空気を供給することでバルブが開放され、空気を排気すると内蔵スプリングの力によって自動的に閉止するフェイルセーフ設計となっています。

配管接続部にはKF40（NW40）規格のフランジを採用しています。ストレート構造であるため、ガスの流路を直線的に保ちつつ、真空システム内部での省スペースな配管レイアウトが可能です。バルブ本体の材質には軽量なアルミニウム合金を使用しており、真空チャンバーや配管系にかかる物理的な負荷を軽減します。また、シール材質には標準仕様のフッ素ゴム（FKM）が組み込まれ、大気圧から1×10^-6 Paまでの広範な圧力領域において、外部漏れ量1.3×10^-11 Pa・m3/s以下（常温時）という高い密閉性能を維持します。

仕様の末尾にある「H0」の記号は、本体にヒータを取り付けるためのタップ穴加工が標準で施されていることを示しています。ヒータ本体は非付属となりますが、使用環境に応じて後付けでヒータユニットを装着し、バルブ内部のベーキング（加熱脱ガス）やプロセスガスの凝結防止といった温度管理に拡張できる設計となっています。半導体製造装置や各種真空実験装置など、厳密な真空条件が求められる用途に適したコンポーネントです。