中古 SMC 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） XYA-40H0

本装置は、半導体製造装置や真空排気システムなどの高真空ラインに組み込んで使用される空圧作動式のストレートバルブです。ボディ材質には軽量かつコンパクトなアルミニウム合金が採用されており、真空システムの省スペース化や装置全体の軽量化に寄与します。

バルブ構造は、配管に対して直線的に接続できるストレート型となっており、L型バルブでは配管の取り回しが困難なレイアウトにおいて有効な選択肢となります。駆動には空圧式を採用しており、0.4〜0.6 MPaの圧縮空気を供給することで確実な開閉制御を行います。

型式末尾の「H0」は、高温環境向け（ヒーター後付け対応）の仕様であることを示しています。標準仕様のバルブが使用温度60℃を上限とするのに対し、本仕様は耐熱性の高いシール材などが組み込まれており、最大150℃までの温度環境に対応します。これにより、高真空引きの際のベークアウト（加熱脱ガス）や、プロセスガスによる副生成物の堆積・結露を防止するための加熱運用が可能です。内部・外部のリーク量は常温時で1.3×10^-10 Pa・m³/s以下に抑えられており、大気圧から1×10^-6 Paの高真空領域まで安定した気密性を維持します。