中古 SMC 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） XYA-40H0
本体価格(税別、送料別)15,000円
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- メーカー
- SMC
- 型式
- XYA-40H0
- 機種
- 真空バルブ
- 管理番号
- Z20051149
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
XYA-40H0 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 高真空ストレート型バルブ(空気圧作動、常時閉) |
|---|---|
| フランジサイズ | KF(NW)40 |
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 |
| 使用圧力 | 1×10⁻⁶Pa〜大気圧 |
| 使用温度 | 5〜150(高温タイプ) ℃ |
| コンダクタンス | 45 L/s |
| 内部リーク量 | 1.3×10⁻¹⁰(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| 外部リーク量 | 1.3×10⁻¹¹(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| ボディ材質 | ステンレス SCS13 |
| ベローズ材質 | SUS316L |
| シール材質(標準) | FKM |
| 操作圧力 | 0.4〜0.7 MPa(G) |
| 空気消費量(0.5MPa時) | 200 cm³ |
| 質量 | 1.42 kg |
出典: smcworld.com
SMC XYA-40H0 の装置概要 AIによる記述です
本機は、半導体製造プロセスや各種真空装置の排気ラインなどに用いられるアルミニウム製の高真空ストレートバルブ（空圧式・単作動ノーマルクローズ）です。フランジサイズはKF40に対応しており、大気圧から1×10^-6 Pa台の高真空領域までの幅広い圧力範囲で使用可能です。
ボディ材質にアルミニウム合金を採用することで、軽量かつコンパクトな設計が実現されており、装置への組み込みやメンテナンス時の作業負担を軽減します。また、真空シール材にはFKM（フッ素ゴム）が標準採用されており、内部・外部ともに1.3×10^-10 Pa・m^3/s以下の極めて低いリーク量を実現し、高い真空密閉性を維持します。
空圧弁として0.4〜0.7 MPaの操作エア圧力で駆動し、ばね戻り式のノーマルクローズ機構を備えています。これにより、停電時やエア供給停止時には自動的にバルブが閉鎖され、真空チャンバー側の安全を確保するフェイルセーフ機能として働きます。ストレート形状であるため、配管を一直線にレイアウトしたい箇所に適しており、粗引きラインやメイン排気ラインの真空制御に幅広く活用できるコンポーネントです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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