中古 SMC 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） XYA-40H0
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- メーカー
- SMC
- 型式
- XYA-40H0
- 機種
- 真空バルブ
- 管理番号
- Z20051151
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
XYA-40H0 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 高真空ストレート型バルブ(空気圧作動、常時閉) |
|---|---|
| フランジサイズ | KF(NW)40 |
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 |
| 使用圧力 | 1×10⁻⁶Pa〜大気圧 |
| 使用温度 | 5〜150(高温タイプ) ℃ |
| コンダクタンス | 45 L/s |
| 内部リーク量 | 1.3×10⁻¹⁰(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| 外部リーク量 | 1.3×10⁻¹¹(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| ボディ材質 | ステンレス SCS13 |
| ベローズ材質 | SUS316L |
| シール材質(標準) | FKM |
| 操作圧力 | 0.4〜0.7 MPa(G) |
| 空気消費量(0.5MPa時) | 200 cm³ |
| 質量 | 1.42 kg |
※上記は当該フランジサイズ（40番）における標準的なカタログスペックに基づいています。末尾のオプション記号による細かな仕様変更（ヒーターの有無など）については、実際の運用環境に合わせて適宜ご確認ください。
出典: smcworld.com
SMC XYA-40H0 の装置概要 AIによる記述です
本機は、真空配管ラインにおける流路の開閉制御を目的とした空圧作動式のストレートバルブです。本体材質にアルミニウム合金を採用することで、軽量かつコンパクトな構造を実現しています。作動方式は、操作用圧縮エアを供給して弁を開く単作動のノーマルクローズ（常時閉）型です。エア遮断時や停電などの非常時には、内蔵されたスプリングの力によって自動的にバルブが閉鎖するフェイルセーフ設計が施されています。
フランジ部分は真空機器で広く普及しているKF40（NW40）規格に準拠しており、既存の排気システムやガス導入ラインへの組み込みが容易です。直管に近いストレート構造により排気抵抗が低減されており、45 L/sのコンダクタンスを確保しています。使用圧力範囲は大気圧から1×10^-6 Paまでの高真空領域に幅広く対応可能です。また、シール部には標準的なフッ素ゴム（FKM）によるOリングシールを採用しており、常温環境下において内部および外部の漏れ量を1.3×10^-10 Pa・m³/s以下に抑える高い気密性を発揮します。
弁の開閉操作には0.4～0.5 MPaの圧縮空気を必要とします。半導体製造装置、真空成膜装置、各種分析機器などの高真空システムにおいて、排気効率の低下を防ぎつつ確実な流路制御を提供する信頼性の高いコンポーネントです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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