中古 アルバック Ulvac ピラニーゲージ SP1

本装置は、気体の熱伝導を利用して低真空領域の圧力を測定するトランスミッタ型のピラニ真空計です。最大の特徴は、真空系の圧力を検知するセンサ部（測定子）と、信号を処理する制御回路がコンパクトな一つの筐体に一体化されている点です。これにより、専用の表示器や独立したコントローラーを別途用意する必要がなくなり、装置周辺の省スペース化および配線の簡略化を大きく推進します。

測定範囲は0.4 Paから3,000 Paまでをカバーしており、真空ポンプの粗引きラインにおける圧力監視や、各種真空プロセスの初期排気状態のモニタリングに最適です。同等のシリーズラインナップには大気圧まで測定可能な広領域モデルも存在しますが、本機は低真空帯の実用的な測定範囲に特化することで安定したデータ取得を可能にしています。

外部出力としてアナログ電圧信号を直接送信できるため、装置に搭載されたPLC（プログラマブル・ロジック・コントローラ）や外部制御機器への組み込みが非常に容易です。半導体製造装置、真空乾燥機、コーティング装置、各種分析機器など、継続的かつ確実な真空度の監視が求められる産業用システムにおいて、コストダウンと高効率なシステム構築に貢献する計器です。