中古 SMC アングルバルブ（空圧弁） XMA-16H0
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- メーカー
- SMC
- 型式
- XMA-16H0
- 機種
- アングルバルブ
- 管理番号
- Z20051140
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
XMA-16H0 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 高真空L型(アングル)バルブ(空気圧作動、常時閉) |
|---|---|
| フランジサイズ | KF(NW)16 |
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 |
| 使用圧力 | 1×10⁻⁶Pa〜大気圧 |
| 使用温度 | 5〜150(高温タイプ) ℃ |
| コンダクタンス | 5 L/s |
| 内部リーク量 | 1.3×10⁻¹⁰(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| 外部リーク量 | 1.3×10⁻¹¹(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| ボディ材質 | ステンレス SCS13 |
| ベローズ材質 | SUS316L |
| シール材質(標準) | FKM |
| 操作圧力 | 0.4〜0.7 MPa(G) |
| 空気消費量(0.5MPa時) | 19 cm³ |
| 質量 | 0.33 kg |
※コンダクタンスは同一寸法のエルボの分子流の値で代表している(メーカー注記)。
※空気消費量はシリンダ部1往復あたりの値。
※型式末尾の H0 は高温タイプ(5〜150℃)。無記号は標準タイプ(5〜60℃)。高温タイプにオートスイッチは付かない。
※オプションでインジケータ、オートスイッチ(D-M9N/M9P/M9B/A90/A93)、シール材質変更が選べる。現品の構成は要確認。
出典: smcworld.com
SMC XMA-16H0 の装置概要 AIによる記述です
真空配管の途中に設けて、チャンバと排気系の間の流路を開閉するL型(アングル)の高真空バルブです。圧縮空気でシリンダを動かして弁を開き、空気を抜くと閉じる常時閉の空気圧作動式です。真空装置の排気ラインやバイパスラインの切り替えなどに使われます。接続はKF(NW)16フランジで、使用流体は不活性ガス系の真空、使用圧力は1×10⁻⁶Pa〜大気圧です。
弁軸の封止にはSUS316Lのベローズを用い、ボディはステンレス SCS13、標準のシール材質はFKMです。リーク量は標準材質FKM・常温時・ガス透過を除いた値で、内部が1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s、外部が1.3×10⁻¹¹ Pa·m³/sです。コンダクタンスは5 L/sで、同一寸法のエルボの分子流の値で代表しています。操作圧力は0.4〜0.7 MPa(G)、0.5MPa時の空気消費量はシリンダ部1往復あたり19 cm³、質量は0.33 kgです。
型式末尾のH0は高温タイプを示し、使用温度は5〜150℃です。高温タイプにはオートスイッチが付きません。インジケータの有無やシール材質変更などのオプション構成は現品ごとに確認が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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