中古 SMC アングルバルブ（空圧弁） XMA-16H0

本製品は、半導体製造装置や真空成膜装置などの高真空排気系に広く使用される、ステンレス製の空圧操作式高真空L型バルブ（アングルバルブ）です。作動方式は常時閉（ノーマルクローズ）で、操作用エアーの遮断時にはスプリングによって確実に閉弁する安全性の高い機構を備えています。

本型式は、最高150℃までの温度環境に対応する高温仕様（ヒータ・温度センサなし）となっており、ベーキングを伴う真空ラインや高温プロセスガスが通る配管システムに適しています。本体主要部には耐食性に優れたSUS304、ベローズ部にはSUS316Lを採用し、内部シールにはFKM（フッ素ゴム）を使用することで、優れた耐熱性と極めて低いガス放出性を実現しています。接続フランジはKF16規格に対応しており、コンパクトながら優れた排気コンダクタンスを維持し、クリーンな超高真空環境の維持に貢献します。