中古 SMC アングルバルブ（空圧弁） XMA-16H0

本装置は、高真空プロセスラインにおける流体の開閉制御を行う加熱仕様のエアオペレイト式（空圧駆動）アングルバルブです。本体構造には軽量で熱伝導率に優れたアルミ合金を採用し、真空シール部には金属ベローズを使用することで、優れた気密性とクリーンな真空環境を維持します。最大150℃の耐熱性能とAC100V（消費電力40W）のヒーターを搭載しており、バルブ内部の温度を維持することで、配管内におけるガス成分の結露や、反応副生成物の付着・固着を効果的に抑制します。これにより、半導体やフラットパネルディスプレイ（FPD）の製造装置、真空蒸着装置などの高精度な真空排気ラインにおいて、メンテナンス周期の長期化と稼働安定性の向上に貢献します。作動方式は安全性の高い常時閉（ノーマルクローズ）となっており、駆動用空気圧が遮断された際にも自動的にバルブが閉じる構造です。