中古 SMC アングルバルブ（空圧弁） XMA-16H0

本装置は、真空配管の遮断および開閉を制御する、空圧操作（スプリングリターン・常時閉）方式の加熱対応型高真空L型バルブ（アングルバルブ）です。バルブボディに軽量で熱伝導性に優れたアルミニウム合金、ベローズ部には耐久性の高いステンレス（SUS316L）を採用しています。配管内における反応生成物の固着や堆積を防止するため、本体にAC100V仕様の40W加熱ヒーターを内蔵。外部の温度コントローラと組み合わせることで、最大150℃までの適切な温度管理が行えます。半導体やFPDの製造装置、真空成膜装置などの排気ラインおよびプロセスガス配管において、安定した真空シール性と長寿命な動作を実現します。