中古 リンテック マスフローコントローラー（MFC） MC-2100MO

本装置は、高精度かつ極めて安定したガス流量制御を実現する熱式マスフローコントローラーです。接ガス部のシール材に金属（メタルシール）を採用した高気密仕様（MOタイプ）であり、微小な外部リークやゴム素材からのアウトガスが許されないクリーンなプロセスに適しています。熱式質量流量センサーと応答性に優れた電磁式比例弁を搭載し、一次側の供給圧力変動に左右されることなく、設定された流量を瞬時に維持します。本個体は水素ガス（H2）用としてフルスケール流量2SLM（Standard Liters per Minute）に調整・校正されています。半導体分野から各種研究開発における精密なガス供給プロセスまで、幅広い用途に対応する信頼性の高いガス制御機器です。