中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-781

本機は、半導体製造プロセスや各種産業用途、研究開発におけるガス制御で長年の実績を持つ熱式（サーマル）マスフローコントローラーです。水素ガス（H2）の流量制御に特化した設計となっており、フルスケール2 SLM（Standard Liters per Minute）の流量域において極めて精密かつ安定した流量制御を実現します。

内部に搭載されたサーマルセンサーがガスの質量流量を熱的に直接測定するため、周囲の温度や一次側・二次側の圧力変動に左右されない正確な流量制御が可能です。アナログ信号（0〜5 VDC）によって流量設定および出力モニターを行い、応答時間は2秒以下と優れた追従性を備えています。信頼性の高いロングセラーモデルとして、薄膜形成装置、熱処理炉、各種評価試験装置などのガス導入ラインに広く導入されています。