中古 リンテック マスフローコントローラー（MFC） MC2100MOWR

本装置は、各種産業プロセスや研究開発における気体流量の精密な計測および制御に広く用いられる、コンパクト設計の熱式マスフローコントローラです。優れた長期安定性を誇る細管式の熱式センサーと、応答性に優れた電磁式制御バルブを搭載しており、経時変化が少なく安定したプロセスガス制御を実現します。
本個体は水素ガス（H2）専用の仕様となっており、最大制御流量は200 SCCM（0℃、1気圧換算で毎分200ミリリットル）に調整されています。半導体製造装置、真空成膜装置、分析機器、あるいは燃料電池の研究用ガスラインなど、高純度ガスや可燃性ガスの微小流量制御に適しています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力に対応しており、既存のアナログ制御システムやプロセス監視機器への組み込みが容易なモデルです。