中古 リンテック マスフローコントローラー（MFC） CV-2100NO　LEP

本装置は、優れた応答性と高精度な制御性を特徴とするピエゾ（圧電素子）駆動方式の超精密コントロールバルブです。常時開（Normally Open: NO）仕様となっており、駆動電圧が印加されていない状態でバルブが開状態となる特性を持ちます。最高動作温度120℃までの高温環境に対応しており、真空ラインやガス制御ライン、液体気化システム等において優れた熱的安定性を発揮します。接ガス部にはメタルシール構造を採用しており、外部リークレート1.0×10⁻¹¹ Pa・m³/s（He）以下という極めて高い気密性を確保。半導体や電子デバイス製造プロセスで求められる超高純度ガスのハンドリングに適しています。本個体は、水素（H2）ガス用に最大流量2 SLM（2 L/min）のレンジで調整・校正された仕様となっています。