中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-3400SM-SP

本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする高度なガス流量制御プロセスで広く使用されている、熱式質量流量コントローラ（MFC）です。センサー部に高精度なキャピラリーセンサーを搭載しており、ガスの質量流量を温度変化として検出することで、周囲の圧力や温度変化に左右されない極めて安定した流量制御を実現します。制御バルブには、微少流量から中流量域まで精密に追従する電磁式バルブが採用されています。

本個体は、仕様として水素（H2）ガス用、最大制御流量50 SCCM（CCM）に調整されており、実験室レベルのプロセスから小規模な生産ラインまで対応可能です。さらに、専用の電源表示設定器（マルチトランスデューサー）であるMT-3000が付属しているため、外部に複雑な制御システムを構築することなく、単体での流量設定および現在値のデジタル表示が容易に行えます。メタルシール構造を採用しているため、外部へのガス漏洩や大気混入を極限まで抑えたい高真空・高純度ガスプロセスに最適です。