中古 SAM マスフローコントローラー（MFC） SFC480EMC-4VM
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- SAM
- 型式
- SFC480EMC-4VM
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- H2 5SLM
- 管理番号
- Z21041916
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 5 SLM |
| 現品銘板の型式 | SFC480EMC-4VM(SAM／Hitachi Metals, Ltd.) |
SFC480EMC-4VM の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | H2(水素) |
|---|---|
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
| メーカー | SAM(日立金属、現 プロテリアル) |
出典: 現品の銘板
SAM SFC480EMC-4VM の装置概要 AIによる記述です
各種高精度ガス制御プロセスで使用される、熱式マスフローコントローラ（MFC）です。メタルシールの採用により、外部リークや不純物の混入を極限まで抑制し、優れた気密性とシステム信頼性を実現しています。最大5 SLMの制御流量に対応し、水素ガスの精密な流量管理をサポートします。接続部には業界標準である1/4インチVCRオス継手を備えており、半導体製造装置や実験設備などのクリーンルーム環境下において、シームレスかつ確実な配管接続が可能です。応答性に優れた高速バルブ制御と高い流量再現性により、シビアなガスプロセスにおいて安定した運用に貢献します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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