中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-770A
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-770A
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスN2流量1SLM
W125ｘD34ｘH170 - 管理番号
- Z21080214
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 1 SLM |
| 外形寸法 | W125 D34 H170 mm |
FC-770A の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常開(NO) |
| 校正ガス | N2 |
| 標準継ぎ手(シリーズ) | 1/4"VCR または 1/4"Swagelok |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 応答性 | 2秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-770A の装置概要 AIによる記述です
半導体製造プロセスや各種産業用の真空装置において、ガス流量の精密な測定と制御を行うアナログ方式のマスフローコントローラーです。高精度な熱式質量流量センサーと、応答性に優れた電磁式コントロールバルブを搭載しており、安定したガス供給を実現します。本機は窒素（N2）ガス用に調整されており、最大1 SLMの流量制御に対応します。
接ガス部のシール構造には気密性の高いメタルシールを採用しており、外部への微小なリークや不純物の混入を極限まで抑える設計となっています。これにより、高純度が求められるプロセスにおいても安全かつ信頼性の高い運用が可能です。アナログインターフェース（0〜5 VDC）による入出力制御に対応しており、既存のアナログシステムへもスムーズに導入・統合することができます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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