中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-771A
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-771A
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスH2 流量20SLM
W125 D34 H160 - 管理番号
- Z21080224
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W125 D34 H160 mm |
FC-771A の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜20SLM |
|---|---|
| バルブ | 常開(NO) |
| 校正ガス | H2 |
| 標準継ぎ手(シリーズ) | 1/4"VCR または 1/4"Swagelok |
| 動作差圧 | 69〜275 kPa(d) |
| 応答性 | 2秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-771A の装置概要 AIによる記述です
本製品は、半導体製造ラインや精密化学プロセス等において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。水素（H2）ガス専用として調整が施されており、最大20 SLM（Standard Liters per Minute）の比較的大きな流量領域における精密な制御に対応します。
同系統のシリーズにおいて、本モデルはガス接触部にメタルシールを採用している点が大きな特徴です。これにより、優れた気密性と高い耐食性を確保し、外部へのガス漏洩リスクを極限まで低減させるとともに、高純度なガス供給ラインの構築に寄与します。制御および出力には、実績豊富でノイズに強い0〜5 VDCのアナログインターフェースを採用しており、既存の制御システムへの円滑な統合が可能です。幅125mmのコンパクトな設計ながら、安定した応答特性と信頼性の高い流量制御を実現します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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