中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-790
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-790
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSiH4 流量500SCCM
W120 D35 H175 - 管理番号
- Z21080230
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W120 D35 H175 mm |
FC-790 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常開(ノーマリオープン) |
| 外部シール材 | メタルシール |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下 |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下 |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 出口側圧力 | 大気圧〜真空(0kPa(G)、0kPa(A)) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC(オプションで0〜2.5mADC) |
| 駆動電源 | +15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mA |
出典: メーカー資料
Aera FC-790 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスなどの高度なクリーン環境で豊富な実績を持つ、メタルシール方式のアナログマスフローコントローラーです。対象ガスには高い反応性を持つSiH4（シランガス）が設定されており、最大流量500 SCCMの領域で極めて精密な流量制御を行います。
メタルシール構造の採用により、優れた外部リークレート（1.0×10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下）を誇り、腐食性・可燃性ガスの安全なハンドリングと外気混入防止を両立しています。応答速度は2秒以下と迅速で、プロセス変化に対して素早く追従します。また、経年変化に強く、長期にわたり±0.2% F.S.の高い再現性を維持するため、薄膜堆積や微細加工プロセスにおけるガス供給の安定化に貢献します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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