中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-980

本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積プロセスにおいて、気体（ガス）の質量流量を高精度に測定・制御する金属シール（メタルシール）方式のマスフローコントローラー（MFC）です。対象ガスは腐食性・自発火性を持つジクロロシラン（SiH2Cl2）に対応しており、最大流量200 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの精密な流量制御を実現します。メタルシールの採用により、外部へのガス漏洩や大気混入を極めて低いレベルに抑え、高真空環境やクリーン度が要求されるプロセスラインにおいて高い信頼性を発揮します。経年劣化に強い堅牢な熱線式流量センサーと電磁式コントロールバルブの組み合わせにより、長期にわたり安定した再現性を維持することが可能です。中古機器としての導入にあたっては、配管システムへのシームレスな統合や、既存のアナログ制御システムとの置き換えに適した仕様となっています。