中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D981C

本装置は、半導体製造プロセスや各種産業分野において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。制御対象ガスは酸素（O2）で、最大20SLMまでの大流量制御に対応しています。ガス接触部には高信頼性のメタルシール構造を採用しており、外部へのガス漏洩やプロセスへの不純物混入を極限まで低減します。デジタル通信インターフェースを搭載しているため、ノイズの影響を受けにくく、外部システムからの精密な流量設定や動作ステータスのリアルタイム監視が可能です。優れた高速応答性と高い制御再現性を備えており、ガス供給ラインの安定化とプロセスの再現性向上に貢献します。