中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D981

本装置は、半導体製造プロセスや各種産業用装置において、ガスの質量流量を高精度かつ高速に制御するために設計されたマスフローコントローラー（MFC）です。シール部にはエラストマー（ゴム）素材を採用しており、高い気密性と優れたコストパフォーマンスを両立しています。

通信インターフェースにはDeviceNetを搭載しており、デジタル通信を介したリアルタイムな流量モニタリングや、精密なプロセス制御、デバイス診断が可能です。本個体は窒素（N2）ガス用に調整されており、最大流量20 SLM（Standard Liters per Minute）までの大流量制御に対応します。

外形寸法は幅155mm、奥行き37mm、高さ160mmと、同クラスの流量を制御するインライン型MFCとして標準的かつコンパクトなハウジングとなっており、既存システムへの統合やメンテナンス時の換装も容易に行えます。