中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400MO-UC

本装置は、半導体や電子デバイス製造プロセスにおける微細加工向けに設計された、超高純度（ウルトラクリーン）対応の熱式マスフローコントローラーです。接ガス部には優れた耐食性を備えた金属材料を採用し、メタルシール構造によって外部へのガスリークを極限まで抑制しています。対象ガスとして、反応性・腐食性の高いジクロロシラン（SiH2Cl2）に対応しており、最大流量200 SCCMの精密な流量制御を実現します。高精度な熱式センサーと高速駆動バルブの組み合わせにより、設定値への迅速な応答性と優れた経時安定性を両立しています。プロセスガスの微量かつ厳密な供給が求められる、薄膜堆積（CVD）などのガスラインに好適な仕様となっています。