中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー(MFC) SEC-500MK3
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-500MK3
- 機種
- マスフローコントローラー(MFC)
- 仕様
- ガスO2
流量10LM
W150 D60 H180 - 管理番号
- Z21080283
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | O2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 10 LM |
| 外形寸法 | W150 D60 H180 mm |
| 校正ガス(現品登録情報) | O₂ |
| フルスケール流量(現品登録情報) | 10 SLM |
SEC-500MK3 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 設定・出力信号 | 0〜5 V(リニア) |
|---|---|
| 制御方式 | 熱式センサー+制御弁の閉ループ制御(設定信号と流量信号の差をゼロにする) |
| シリーズ内の位置づけ | SEC-400シリーズのローコストモデル |
※精度・応答・供給電源(一般に±15 V DC)・継手規格・最大使用圧力はメーカー資料(アクセス制限)で未確認
※他ガスへの転用にはコンバージョンファクター換算または再校正が必要
出典: directindustry.com、horiba.com
堀場エステック Stec SEC-500MK3 の装置概要 AIによる記述です
熱式のマスフローセンサーとピエゾ(またはソレノイド)駆動の制御弁を一体化したアナログ式のマスフローコントローラで、外部から与えた設定信号(0〜5 V)とセンサーの流量信号を比較し、その差がゼロになるよう制御弁を動かして流量を一定に保ちます。SEC-400シリーズはSTECのロングセラーで、SEC-400MK3とSEC-500MK3はそのローコストモデルにあたり、研究用のガス供給系、CVD・スパッタ装置、分析装置のキャリアガス制御などに広く使われています。流量信号は0〜5 Vのリニア出力で外部機器に取り出せます。現品はガス種O₂、フルスケール流量10 SLMで校正された個体です(登録寸法 W150×D60×H180 mm)。マスフローコントローラはガス種と流量レンジごとに校正されているため、他のガスで使う場合はコンバージョンファクターによる換算か再校正が必要です。中古品につき、ゼロ点のずれ、弁のシール性(バルブ閉時のリーク)、継手のシール面の状態を確認したうえでの使用が前提になります。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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