中古 エドワーズ Edwards マスフローコントローラー（MFC） 825

本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発におけるガス流量の精密な制御に適した、信頼性の高い熱式質量流量コントローラー（MFC）です。内部に搭載された高精度な熱式流量センサーと電磁式コントロールバルブの組み合わせにより、一次側の圧力変動や温度変化に左右されない、極めて安定した質量流量制御を実現します。

対応ガスはAr（アルゴン）に調整されており、最大50 SCCMという微小流量域における高精度なガス供給が可能です。筐体サイズはW130mm×D25mm×H160mmとコンパクトに設計されており、限られたスペースのガスパネル内や各種装置内への組み込みが容易です。汎用性の高いアナログ入出力インターフェースに対応しているため、既存の測定・制御システムへの統合もスムーズに行えます。プロセスガスの微量かつ厳密な制御を求める実験設備や生産ラインに最適な機器です。