中古 リンテック マスフローコントローラー（MFC） MC-100M
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- リンテック
- 型式
- MC-100M
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスO2 流量500SCCM
W210 D40 H175 - 管理番号
- Z21080325
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | O2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W210 D40 H175 mm |
| 現品銘板の型式 | MC-100M(LINTEC／リンテック) |
MC-100M の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | O2(酸素) |
|---|---|
| 電源 | ±15V |
| 端子配列 | 1 COM／2 OUT-COM／3 +15V／4 -15V／5 SET(-)／6 SET(+)／7 OUT／8 CONT.IN |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
出典: 現品の銘板
リンテック MC-100M の装置概要 AIによる記述です
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御するためのマスフローコントローラーです。センサー部に熱線バイパス方式、バルブ駆動部に微細な調整が可能なピエゾアクチュエータを採用しており、優れた応答性と安定性を備えています。
本個体は、制御対象ガスがO2（酸素）、最大流量が500SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の仕様となっています。一般的に高精度なガス供給が必要とされる半導体製造、薄膜形成、研究開発分野などのプロセスラインで活用されます。標準的な仕様として、±1.0% F.S.の優れた流量精度と±0.2% F.S.の高い再現性を実現しており、プロセスの再現性向上や安定したガス供給に貢献します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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