中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-770C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-770C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスO2 流量500SM
W125 D31 H142 - 管理番号
- Z21080340
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
FC-770C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定／出力信号 | 0〜5VDC(電流モードは0〜2.5mA) |
出典: メーカー資料
Tylan FC-770C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種実験用設備において広く稼働実績を持つ、アナログ制御方式の熱式質量流量コントローラ（MFC）です。ガス流入に伴う熱の移動量を検知するセンサー技術と、応答性に優れたソレノイドバルブを一体化しており、一次側の圧力変動や周囲の温度変化に影響を受けることなく、極めて安定したガス流量制御を実現します。
本個体は、プロセスガスとして酸素（O₂）に対応し、最大流量500 sccm（500 sml/min）の精密な制御が可能です。耐久性と信頼性に優れたクラシックなアナログ設計であり、既存システムの補修用パーツや、研究開発・評価試験用システムなどのガス供給ライン構築に適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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