中古 日立金属 マスフローコントローラー（MFC） SFC-480
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 日立金属
- 型式
- SFC-480
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスAr 流量1000SCCM
W120 D32 H140 - 管理番号
- Z21080365
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 1000 SCCM |
| 外形寸法 | W120 D32 H140 mm |
| 現品銘板の型式 | SFC480RC-4VCOP(SAM／Hitachi Metals, Ltd.) |
SFC-480 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | Ar(アルゴン) |
|---|---|
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
| メーカー | SAM(日立金属、現 プロテリアル) |
※上記仕様は同型式シリーズの標準的なカタログ値に基づく参考値です。実際の動作環境や仕様の詳細は個別の検査データをご確認ください。
出典: 現品の銘板
日立金属 SFC-480 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種工業分野の気相プロセスにおいて、ガスの質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラー（MFC）です。調整ガスはAr（アルゴン）仕様となっており、制御可能な最大流量（フルスケール流量）は1000 SCCMです。
デジタル技術を用いた高度なセンサーおよびバルブ制御アルゴリズムにより、高速な応答性と優れた制御安定性を実現しており、プロセスの再現性向上に貢献します。アナログ信号（0-5V等）およびRS-485によるデジタル通信に対応しており、既存の各種制御システムへの統合が容易です。外形寸法は幅120mm、奥行32mm、高さ140mmのコンパクトな設計となっており、限られたスペースへの設置に適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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