中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-400MK3-UL
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-400MK3-UL
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 流量：1SLM ガス：H2
- 管理番号
- Z21080377
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 1 SLM |
| 現品銘板の型式 | SEC-400MK3-UL(STEC INC. MADE IN JAPAN) |
SEC-400MK3-UL の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | H2(水素、直接校正) |
|---|---|
| コンバージョンファクタ(C.F.) | 1.00(H2基準) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±2%以内(MARK3の場合) |
| 直線性 | ±1%以内(MARK3の場合) |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
| 流量出力信号 | 0〜5VDC(最小負荷抵抗2kΩ) |
| 駆動電源 | +15V±5%DC 60mA／-15V±5%DC 60mA |
※適合ガス種、フルスケール流量（F.S.）、および配管接続用継手の形状（VCR、Swagelokなど）は個体ごとに異なります。正確な仕様については、必ず実機側面に貼付されている銘板をご確認ください。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-400MK3-UL の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種ガス制御用途で広く利用されているアナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。高分解能の比例電磁弁と熱式流量センサーを搭載し、外部環境の温度や圧力変動に影響されず、安定したガスの質量流量計測とフィードバック制御を行います。
応答時間はフルスケールの±2%以内に整定するまで約1秒と、高速かつ安定した制御を実現しており、流量制御範囲はフルスケールの2%から100%まで幅広くカバーしています。流量精度はフルスケールに対して±1.0%以内の高精度を維持し、直線性（±0.5% F.S.）や再現性（±0.2% F.S.）においても優れた性能を備えています。
駆動には±15Vの直流電源を使用し、外部からの0〜5VDCのアナログ電圧信号によって目標流量を設定します。同時に、計測された流量モニター値も0〜5VDCのアナログ信号として出力されるため、外部のPLCやデータロガーとの連携が容易に行えます。本体はコンパクトに設計されており、既存のガスパネルや配管システムへの組み込みに適しています。研究開発設備から生産ラインのガス供給システムまで、幅広い流量制御プロセスに対応可能な汎用性の高いコンポーネントです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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