中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-7330M

本装置は、半導体製造プロセスにおいて高い実績を持つメタルシール方式のマスフローコントローラーです。金属ガスケットによる高度なシール技術を採用しており、ジボラン（B2H6）をはじめとする特殊材料ガスや毒性・腐食性ガスに対しても、極めて優れた気密性と安全性を発揮します。応答速度は1秒以下と高速であり、ガス供給ラインの圧力変動に対しても安定した追従性を示します。同シリーズにおいて中流量域（10 SLM〜30 SLM）をカバーする筐体設計をベースとしながら、本個体はプロセスガスとしてジボラン（B2H6）を使用し、流量200 SCCMの精密制御用として調整されています。特殊ガスを用いたプロセス開発や評価試験、各種製造設備の予備機として最適な仕様となっています。