中古 MKS マスフローコントローラー（MFC） M100B00752CS1BV
本体価格(税別、送料別)40,000円
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- メーカー
- MKS
- 型式
- M100B00752CS1BV
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス：H2 流量：500SCCM
- 管理番号
- Z220822019
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 現品の型式表示 | M100B00752CS1BV |
M100B00752CS1BV の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | H2(水素) |
|---|---|
| 確度 | ±1%F.S.(5000sccm以下) |
| 制御範囲 | フルスケールの2.0〜100% |
| 繰返し性 | ±0.2%F.S. |
| 整定時間 | 2秒未満(設定値の±2%以内まで) |
| 最大入口圧力 | 150 psig |
| 動作差圧 | 10〜40psid(5000sccm以下) |
| 暖機時間 | 15 分 |
| 電源 | ±15VDC(±10%) 起動時最大200mA／定常100mA |
| 出力信号 | 0〜5VDC(10kΩ超の負荷) |
| 設定入力 | 0〜5VDC(20kΩ未満から) |
| コネクタ | 15ピン D-sub |
| 継手 | Swagelok 4-VCR(オス)／4-VCO(オス)／1/4インチ Swagelok／1/8インチ Swagelok から選択 |
出典: 現品の銘板、nanophys.kth.se
MKS M100B00752CS1BV の装置概要 AIによる記述です
本装置は、高信頼性のアナログ制御方式を採用したメタルシール構造のマスフローコントローラー（MFC）です。特に高い気密性とクリーンネスが要求されるプロセス向けに設計されており、外部シールにメタルガスケットを採用することで、ガスの外部漏洩や大気混入を極限まで抑制します。
掲載機は、可燃性ガスである水素（H2）専用として、最大流量500 sccmの仕様に調整・校正されています。バルブ形式は、一次側の圧力変動時や停電時などの安全性を考慮した常時閉（Normally Closed）タイプです。信号インターフェースには15ピンD-subコネクタを装備し、標準的な0-5 VDCのアナログ信号によって動作します。
プロセス配管への接続には、半導体や真空プロセスで標準的に使用される1/4インチVCRオス継手が採用されており、高真空環境や各種プロセスガスラインへの確実な接続が可能です。熱式センサーによる優れた応答性と高い再現性を備え、安定した微小流量制御を実現します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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