中古 MKS マスフローコントローラー（MFC） M100B02852CS1BV
本体価格(税別、送料別)40,000円
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- メーカー
- MKS
- 型式
- M100B02852CS1BV
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス：CH4 流量：500SCCM
- 管理番号
- Z220822020
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | CH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 現品の型式表示 | M100B02852CS1BV |
M100B02852CS1BV の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | CH4(メタン) |
|---|---|
| 確度 | ±1%F.S.(5000sccm以下) |
| 制御範囲 | フルスケールの2.0〜100% |
| 繰返し性 | ±0.2%F.S. |
| 整定時間 | 2秒未満(設定値の±2%以内まで) |
| 最大入口圧力 | 150 psig |
| 動作差圧 | 10〜40psid(5000sccm以下) |
| 暖機時間 | 15 分 |
| 電源 | ±15VDC(±10%) 起動時最大200mA／定常100mA |
| 出力信号 | 0〜5VDC(10kΩ超の負荷) |
| 設定入力 | 0〜5VDC(20kΩ未満から) |
| コネクタ | 15ピン D-sub |
| 継手 | Swagelok 4-VCR(オス)／4-VCO(オス)／1/4インチ Swagelok／1/8インチ Swagelok から選択 |
出典: 現品の銘板、nanophys.kth.se
MKS M100B02852CS1BV の装置概要 AIによる記述です
本装置は、信頼性の高い金属シール（メタルシール）構造を採用した高性能なアナログマスフローコントローラー（MFC）です。
ガス接触部には耐食性に優れた316Lステンレス鋼等を使用し、外部リークレート1.0×10⁻⁹ atm-cc/sec（He）以下という極めて高い外部気密性を確保しています。対象ガスはメタン（CH4）、制御可能なフルスケール流量は500 SCCMです。
バルブタイプは非通電時に閉状態となる安全性の高い常時閉（Normally Closed）仕様で、バルブシート部にバイトン（Viton）エラストマーを採用することにより、閉止時のインナーリークを最小限に抑えています。
制御信号は0〜5 VDCのアナログ方式に対応し、接続には標準的な15ピンD-subコネクタを使用します。配管接続用の継手には1/4インチVCRオス（4 VCR）を備えており、半導体製造やクリーンなガス制御ラインへの確実な同軸接続が可能です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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