中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-510A

本機は、半導体製造や各種産業プロセスにおいて、気体の質量流量を高精度に測定・制御するアナログタイプの熱式マスフローコントローラーです。外部のプロセス圧力の変動に対しても、優れた応答性と安定した流量供給を維持する信頼性の高い設計が特徴です。
なお、本シリーズのメーカー公式仕様において、本機の流量制御範囲（N2換算）は10 sccmから10 slm（L/min）となっており、20 slmから50 slmの中高流量域に対応するモデルは同シリーズの別型式に分類されます。そのため、ご提示いただいた「流量：50LM（50 L/min）」という仕様は、姉妹機である高流量モデルの仕様、あるいは特別なカスタム仕様を指している可能性があります。以下には、この混同を防ぐために、本機のメーカー公称の標準仕様を正確に記載しています。