中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー(MFC) SEC-510
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-510
- 機種
- マスフローコントローラー(MFC)
- 仕様
- ガス:N2 流量:20LM
- 管理番号
- Z230331007
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 LM |
| 現品銘板の型式 | SEC-510(STEC INC.) |
SEC-510 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2(窒素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 1.00(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-510 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業用途、研究開発におけるガス供給ラインで広く利用されているアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。周囲の温度や供給圧力の変動に左右されることなく、気体の質量流量を高い精度で測定・制御します。本個体はN2(窒素ガス)専用に校正されており、フルスケール流量は20 LM(L/min)です。流量制御には、応答性能に優れたソレノイドバルブと信頼性の高い熱式質量流量センサーが採用されています。アナログの外部制御信号(0〜5 VDC)によって流量設定と出力モニターを行う仕組みになっており、既存のアナログ制御システムや手動設定ユニットへの組み込みが容易な仕様です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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