中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400MO
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-4400MO
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:CF4 流量:300SCCM
- 管理番号
- Z230331026
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | CF4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 現品銘板の型式 | SEC-4400MO(STEC INC.) |
SEC-4400MO の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | CF4(四フッ化炭素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.44(N2基準) |
| バルブ型式 | MO(ノーマリオープン、型番の MO) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L(Mタイプ) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1%F.S. |
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下(Mタイプ) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-4400MO の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスなどの精密なガス流量制御において高い実績を持つ、DeviceNet通信対応のデジタルマスフローコントローラーです。内部に熱線型流速センサーとソレノイドバルブを搭載しており、設定値に対して迅速かつ正確に流量を制御します。バルブ動作形式には、非通電時にバルブが開状態となる「常時開（Normally Open）」タイプが採用されています。
本個体は、対象ガス「CF4（四フッ化炭素）」、最大流量「300 SCCM」の仕様で調整されています。フルスケールの2%から100%の広い範囲で安定した制御が可能であり、応答速度は1.0秒以下と極めて迅速です。ネットワーク経由でのデジタル制御に対応しているため、配線の省力化とリアルタイムな動作監視を両立し、高度に自動化されたガス供給システムへの統合に適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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