中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410Z

本装置は、半導体製造プロセスや各種精密工業において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するメタルシール仕様のアナログマスフローコントローラーです。
気密性と耐食性に極めて優れたメタルガスケットシール構造を採用しているため、ガス放出や外部リークが最小限に抑えられており、高純度ガスや腐食性ガスの制御に適しています。本個体は、半導体分野で汎用される特殊材料ガスであるモノシラン（SiH4）向けに調整されており、フルスケール流量は200SCCMに設定されています。
制御基板には信頼性の高いアナログ方式を採用し、再現性±0.2% F.S.、精度±1.0% F.S.という極めて安定した制御性能を発揮します。応答速度は2秒以下と高速であり、プロセス中の急激な圧力・流量変動に対しても迅速に追従し、安定したプロセス環境を維持します。