中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410LP
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-410LP
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SiCl4 流量:300CCM
- 管理番号
- Z230331037
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiCl4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 300 CCM |
| 現品銘板の型式 | SEC-410LP(STEC INC.) |
SEC-410LP の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | SiCl4(四塩化ケイ素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.32(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
※以下はメーカー公表の同系統シリーズ仕様に基づいた参考値です。実際の製品仕様は、当時のカスタマイズ内容やご使用のガス種、環境等によって異なる場合があります。
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-410LP の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体や電子デバイス製造プロセスにおいて、低差圧環境下での精密なガス流量制御に特化したマスフローコントローラーです。常温での蒸気圧が極めて低く、気化供給システムを必要とするSiCl4（四塩化珪素）などの低蒸気圧・腐食性ガスの制御に最適化されています。独自のバルブ構造により、一次側圧力が極めて低い、あるいは真空に近い低差圧条件下でも、300 CCM（sccm）の流量を安定して精密に制御できます。ガス接液部にはメタルシール構造を採用しており、優れた気密性と高い耐食性を両立し、プロセスのクリーン化と安全なガス制御を実現します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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