中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400ｰMO
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-4400ｰMO
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:CHF3 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331041
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | CHF3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 現品銘板の型式 | SEC-4400MO(STEC INC.) |
SEC-4400ｰMO の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | CF4(四フッ化炭素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.44(N2基準) |
| バルブ型式 | MO(ノーマリオープン、型番の MO) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L(Mタイプ) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1%F.S. |
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下(Mタイプ) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-4400ｰMO の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスなどの精密な気体制御が要求される環境で広く使用される、熱式質量流量コントローラです。制御対象ガスはCHF3（トリフルオロメタン）に調整されており、最大100SCCMまでの微小流量を高い精度で測定・制御することができます。
内部には、周囲の温度や圧力変動の影響を受けにくい高精度な熱式流量センサーと、応答性に優れた電磁駆動バルブを搭載しています。これにより、流量設定値の変更に対して1秒以内という迅速な応答速度を実現し、プロセスガスの安定した供給をサポートします。
また、本仕様は耐久性と高気密性を両立したメタルシール構造を採用しており、外部へのガス漏洩を最小限に抑える信頼性の高い設計となっています。上位システムとのインターフェースには、アナログおよびデジタル通信に対応するD-sub 9ピンコネクタを採用しており、正確な流量制御とモニタリングが可能です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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