中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400M
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-4400M
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:HBr 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331046
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | HBr |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 現品銘板の型式 | SEC-4400M(STEC INC.) |
SEC-4400M の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | HBr(臭化水素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.977(N2基準) |
| バルブ型式 | C(ノーマリクローズ、銘板の VALVE 欄) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L(Mタイプ) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1%F.S. |
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下(Mタイプ) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-4400M の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種薄膜堆積プロセスなどで広く採用されている、メタルシール構造の熱式質量流量コントローラ（MFC）です。流量制御の心臓部には応答性に優れたピエゾアクチュエータ駆動バルブを搭載しており、設定変更に対して1秒以下という高速な応答性能を実現しています。ガス接触部には高い耐食性を備えた金属材料とメタルシールが使用されているため、反応性や腐食性の高い臭化水素（HBr）ガスに対しても優れた耐久性を発揮し、クリーンかつ安全なガス供給ラインを構築できます。本個体はフルスケール流量100SCCMの仕様となっており、微小流量における精密なプロセス制御や再現性の高い流量管理を求める用途に最適です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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