中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4401M

本装置は、優れた気密性と信頼性を誇るメタルシール構造を採用した、高精度な熱式マスフローコントローラーです。接ガス部には耐食性に優れたステンレス鋼（SUS316L等）を使用しており、高クリーンかつ高い安全性が要求される半導体製造プロセスや精密化学実験に最適です。
本個体は、常温では液体であるメタノール（CH3OH）をガス（蒸気）状態で精密に制御するための仕様に調整されており、最大制御流量（フルスケール）は100 CCM（mL/min）となっています。外部リークレートは1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下と極めて低く、可燃性や有害性を持つ有機溶剤蒸気などの取り扱いにおいても高い気密性を保持します。応答性に優れたセンサーと微小流量域でも高い再現性を発揮するバルブ制御技術により、安定したプロセス管理を可能にします。