中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEF-410SUC

本機は、信頼性の高い熱式流量センサ技術と、応答性に優れたソレノイド駆動アクチュエータを搭載したアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。
本個体は、半導体製造プロセス等で広く用いられる特殊材料ガス「20%SiH4/He（シラン・ヘリウム混合ガス）」専用として校正されており、最大流量（フルスケール）は「2 LM（2 L/min）」仕様となっています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による高精度な流量制御が可能で、優れた再現性と安定性を発揮します。堅牢な構造とフッ素ゴムによる確実なシール性能を備えており、既存のアナログ流量制御ラインのリプレイスメント用や研究開発用プロセスラインへの導入に適しています。