中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-F440M

本装置は、半導体製造プロセスなどの精密なガス流量制御に広く使用される、熱式センサーを搭載した高精度デジタルマスフローコントローラーです。優れた応答性と信頼性を誇り、流量設定に対して1秒以下の高速応答を実現します。
接ガス部には耐食性に優れた高品位な金属材料およびメタルシールを採用しており、外部リークレート1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下の優れた気密性を保持しています。本個体は、特殊材料ガスであるジボランの希釈ガス（2% B2H6/N2）における流量制御（フルスケール1 L/min）に最適化された調整が施されています。ベースプラットフォームは最大50 L/min（N2換算）まで対応可能な設計となっており、高いクリーン度を維持しながら、真空プロセスや化学気相成長（CVD）装置におけるプロセスガスの安定供給に寄与します。