中古 Unit マスフローコントローラー（MFC） UFC-1200

本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや精密化学実験、各種薄膜堆積装置など、厳密なガス流量管理が必要とされる用途に広く採用されてきたアナログ式の熱式質量流量制御装置です。流体の温度や圧力の変動に左右されず、ガスの質量流量を直接計測・制御する熱式センサー技術を搭載しており、安定したプロセス制御を実現します。

本個体は、ガス種「O2（酸素）」、最大流量「20 SCCM」に調整された仕様となっており、微少流量域における正確な酸素供給や、緻密な雰囲気制御に適しています。外部との制御信号には標準的な0～5 VDCのアナログ電圧信号を採用しており、既存のアナログ制御システムや各種PLC、外部監視機器への組み込みや置き換えが容易です。長年にわたり現場で培われた堅牢なハードウェア設計により、優れた再現性と長期安定動作を提供します。