中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-R7710CD
本体価格(税別、送料別)40,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-R7710CD
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス：N2O 流量：5SLM
- 管理番号
- Z23071004
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2O |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 5 SLM |
| 現品の型式表示 | FC-R7710CD |
FC-R7710CD の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2O(一酸化二窒素) |
|---|---|
| 整定時間 | 2秒以下(設定値変更後) |
| シール | エラストマシール |
| 継手 | VCR／VCO／Swagelok 対応 |
| バルブ形式 | ノーマルクローズまたはノーマルオープンのソレノイドバルブ |
| 外部リーク | 1×10⁻⁷Pa·m³/s 未満 |
| シリーズのフルスケール範囲 | 10sccm〜200slm |
※メーカー公表の同シリーズ（FC-R7700/FC-R7710シリーズ）の代表的な仕様に基づきます。個体ごとの実際の調整状態やオプションにより異なる場合があります。
出典: 現品の銘板、fap-gmbh.de
Aera FC-R7710CD の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業用途において、ガスの質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラー（MFC）です。高速応答性と高い再現性を備えており、プロセスの安定化に貢献します。
流量制御部にはサーマルセンサーと高速ソレノイドアクチュエータ（電磁式バルブ）を搭載し、流体の温度や圧力の変化に左右されない安定した質量流量制御を実現しています。接続コネクタにはD-sub 9ピン（または仕様により15ピン等）のアナログインターフェースが採用されており、外部からの流量設定信号（0-5 VDC等）に応じた正確なバルブ開度調整が可能です。本個体は、プロセスガスとして亜酸化窒素（N2O）向けに調整されており、フルスケール流量は5SLM（Standard Liters per Minute）の仕様となっています。長年の実績を持つ頑健な筐体設計により、クリーンかつ信頼性の高いガス供給ラインの構築に最適です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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