中古 アネルバ ANELVA クライオポンプ CAP120 Mark2
この商品は売却済みです(2026年8月)。同じ機種の在庫をご覧ください。
- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- CAP120 Mark2
- 機種
- クライオポンプ
- 管理番号
- Z25090104
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
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クライオポンプ
アルバック Ulvac
U16P
600,000円
問い合わせるZ26070101
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CAP120 Mark2 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 吸気口フランジ | JIS VG200 |
|---|---|
| 排気速度（窒素 N2） | 1,200 L/s |
| 排気速度（水 H2O） | 4,000 L/s |
| 排気速度（アルゴン Ar） | 1,000 L/s |
| 排気速度（水素 H2） | 2,000 L/s |
| 到達圧力 | 5×10^-8 Pa 以下 |
| クロスオーバー最大値 | 約 20,000 Pa・L |
| クールダウン時間 | 約 75 分 |
| 冷凍機サイクル | ギフォード・マクマホン（GM）方式 |
| 冷媒 | 高純度ヘリウムガス |
| 本体質量 | 約 21 kg |
アネルバ ANELVA CAP120 Mark2 の装置概要 AIによる記述です
本機は、極低温に冷却されたクライオパネルに真空容器内の気体分子を凝縮および吸着させることで排気を行う高性能クライオポンプです。オイルフリーかつクリーンな高真空・超高真空環境を構築できる特性から、半導体製造工程におけるスパッタリング装置、真空蒸着装置、表面分析装置などのメインポンプとして広く採用されています。
内部にはギフォード・マクマホン（GM）サイクル冷凍機を搭載しており、専用のヘリウムコンプレッサーと接続して運用されます。Mark2モデルは初期型と比較して冷却効率と構造の信頼性が改善されており、長時間の連続運転や高い排気負荷に対しても安定した性能を発揮するよう設計されています。
特に水蒸気に対する排気速度が極めて高く、真空チャンバーの立ち上げ時間を大幅に短縮することが可能です。稼働させることで、目標とする超高真空領域（10^-6〜10^-8 Pa台）までの素早い排気を実現します。なお、実際のシステム運用時には、単体ではなく粗引き用の補助真空ポンプや、定期的な再生（リジェネレーション）プロセスを実行するための周辺機器と組み合わせて使用されます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。