中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 数量
- 8台(同じ型式をこの管理番号でまとめて管理。価格は1台あたり)
- 仕様
- 流量：200SCCM ガス：AR
- 管理番号
- Z241011028
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本機は、半導体製造プロセスや真空成膜装置、エッチング装置などの産業用途において、プロセスガスの質量流量を精密に測定・制御するための装置です。熱式流量センサーと高分解能の比例制御バルブを本体に内蔵しており、外部システムからの設定信号に基づいて自律的かつ高精度な流量コントロールを行います。
設定されたフルスケール流量は200 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）で、対象ガスはアルゴン（AR）専用にキャリブレーションされています。入出力インターフェースには業界標準である0〜5VDCのアナログ電圧信号を採用しており、既存の制御機器やPLCなどと容易に連動させることが可能です。流量精度はフルスケールに対して±1.0%、再現性は±0.2% F.S.の基準を満たしており、微細なガス流量の変動が品質に影響を与えるプロセスにおいても安定した供給を維持します。
駆動用の電源として±15VDCが必要となります。バルブ制御には高速応答が可能なアクチュエータ（非通電時は閉となるノーマリークローズ設計）が採用されており、ガス供給開始から目標流量に達するまでの応答時間は約2秒以内と迅速です。適正な使用温度範囲は5〜45℃であり、±0.5% F.S.の高い直線性によって、長期間の連続稼働時にもプロセスの再現性と信頼性を客観的に担保します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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