中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-771AC
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-771AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスH2 流量20SLM
W125 D34 H170 - 管理番号
- Z21080225
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W125 D34 H170 mm |
FC-771AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
|---|---|
| バルブ | 常閉(NC) |
| 校正ガス | H2 |
| 標準継ぎ手(シリーズ) | 1/4"VCR または 1/4"Swagelok |
| 動作差圧 | 69〜275 kPa(d) |
| 応答性 | 2秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※外部シールがゴムのため、リークレートは 1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He) 台とメタルシールの FC-780系(1×10⁻¹¹台)より緩い。超高真空側の用途では注意。
※20SLM超で使うときの動作差圧は 98〜275kPa(d) になる(取説の注記)。
出典: メーカー資料
Aera FC-771AC の装置概要 AIによる記述です
プロセスガスの質量流量を検出し、内蔵の制御バルブで設定値に保つマスフローコントローラーです。半導体製造装置や成膜装置、研究用のガス供給ラインなどで使われます。シリーズのフルスケールレンジはN2換算で6〜50SLMで、掲載品は校正ガスH2、フルスケール流量20 SLMの仕様です。バルブは常閉(NC)で、流量制御範囲は2〜100 %F.S.です。
精度はフルスケールの±1%以下、直線性はフルスケールの±0.5%以下、繰り返し性はフルスケールの±0.2%以下です。応答性は2秒以内(フルスケールの±2%まで)です。動作差圧は69〜275 kPa(d)、最大動作圧力は490 kPa(g)、耐圧力は981 kPa(g)、使用可能周囲温度は5〜45 ℃です。継ぎ手は1/4"VCRまたは1/4"Swagelokがシリーズの標準です。
外部シールがゴムのため、外部リークレートは1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/secで、メタルシール品より緩くなります。超高真空側の用途では注意が必要です。また、20SLM超のレンジでは精度・直線性・動作差圧の規定が変わります。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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