中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-771ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、優れた応答性と高い信頼性を備えた熱式マスフローコントローラです。ガス流路のシール部に高気密なメタルシールを採用しているため、外部へのガス漏洩を極限まで抑え、高純度ガスや可燃性ガスの安全かつ安定した制御を可能にします。

本個体は水素（H2）ガス専用として調整されており、最大流量20 SLM（Standard Liters per Minute：標準状態換算での毎分20リットル）までの精密な流量制御に対応しています。制御バルブには信頼性の高いソレノイド駆動方式（常時閉：Normally Closed）を採用。外部からのアナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定、および実際の流量値を示すアナログ出力（0〜5 VDC）に対応しています。

外形寸法は面間（接続端面間距離）125 mm、幅34 mm、高さ170 mmとコンパクトな設計になっており、ガスパネルや各種製造装置などの限られたスペースへの設置や、既存機器からのリプレイスが容易です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス：** 水素（H2）
* **最大制御流量：** 20 SLM
* **シール方式：** メタルシール
* **バルブ動作：** ノーマリークローズ（常時閉）
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）以内
* **再現性：** ±0.2% F.S.以内
* **応答時間：** 2.0秒以下
* **入出力信号（アナログ）：**
* 流量設定信号：0 〜 5 VDC
* 流量出力信号：0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** DC ±15 V
* **動作温度範囲：** 5 〜 50 ℃
* **推奨動作差圧：** 100 〜 300 kPa（※一次側・二次側圧力差）
* **外形寸法：** 幅 125 mm（面間寸法）× 奥行 34 mm × 高さ 170 mm
* **接続継手：** 1/4インチ VCR相当

※上記仕様は同シリーズの標準的なカタログ値に基づく参考情報です。中古機械の性質上、実際の製品の状態や内部調整、キャリブレーション状況により異なる場合があります。