中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-771AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-771AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスH2 流量20SLM
W130 D30 H127 - 管理番号
- Z21080226
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W130 D30 H127 mm |
FC-771AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
|---|---|
| バルブ | 常閉(NC) |
| 校正ガス | H2 |
| 標準継ぎ手(シリーズ) | 1/4"VCR または 1/4"Swagelok |
| 動作差圧 | 69〜275 kPa(d) |
| 応答性 | 2秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-771AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや一般産業分野におけるガス流量制御で幅広く使用されている、アナログインターフェース対応の熱式マスフローコントローラーです。気密性とコストパフォーマンスに優れたエラストマー（フッ素ゴム等）シールを採用したシリーズに属しており、安定した制御性能を提供します。
本個体は水素（H2）ガス専用に調整されており、最大20 SLM（標準リッター/分）までの大流量制御に対応します。流量制御の精度は±1.0% F.S.、再現性は±0.2% F.S.を誇り、設定値への応答時間は2.0秒以下と極めて迅速です。本体サイズは幅130mm、奥行30mm、高さ127mmとコンパクトな設計になっており、既存設備へのリプレイスや限られたスペースへの設置が容易です。0〜5 VDCのアナログ信号によって動作し、信頼性の高いガス供給ラインの構築に貢献します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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