中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Unit
型式UFC-1200
年式表記：
仕様:ガス:AR 流量:100SCCM
仕様:ガス:AR 流量:100SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業・研究用途において長年の実績を持つアナログ制御方式のマスフローコントローラ（MFC）です。熱式流量センサーと独自の制御バルブにより、ガスの質量流量を高い再現性で精密に測定・制御します。本個体はアルゴン（Ar）ガスに対応し、最大流量100 SCCMの仕様に調整されています。応答性に優れ、設定値に対して迅速かつ安定した制御動作を行うため、ガス流量の精密な管理を必要とするシステムに好適です。アナログ入出力（0-5 VDC）に対応しており、既存の制御ラインやパネル計器への統合が比較的容易に行えるのが特徴です。その堅牢性と信頼性の高さから、中古市場においても安定した稼働が期待できる定番の機器です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** アルゴン (Ar)
* **最大流量：** 100 SCCM
* **制御範囲：** 2% ～ 100% F.S. (フルスケール)
* **精度：** ±1.0% F.S.
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以下（設定値の±2%以内に到達）
* **動作差圧範囲：** 0.07 MPa ～ 0.27 MPa (10 ～ 40 psid)
* **最大動作圧力：** 1.03 MPa (150 psig)
* **耐圧性能：** 3.45 MPa (500 psig)
* **入出力信号：** 0 ～ 5 VDC
* **電源仕様：** +15 VDC (±5%)、-15 VDC (±5%)
* **外部接続コネクタ：** 9ピン D-sub または 20ピン カードエッジ継手 (仕様による)
* **シール材質：** フッ素ゴム (Viton)
※上記仕様はメーカー公表の標準的なデータに基づく参考値であり、実際の製品個体の状態や校正状況によって異なる場合があります。
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業・研究用途において長年の実績を持つアナログ制御方式のマスフローコントローラ（MFC）です。熱式流量センサーと独自の制御バルブにより、ガスの質量流量を高い再現性で精密に測定・制御します。本個体はアルゴン（Ar）ガスに対応し、最大流量100 SCCMの仕様に調整されています。応答性に優れ、設定値に対して迅速かつ安定した制御動作を行うため、ガス流量の精密な管理を必要とするシステムに好適です。アナログ入出力（0-5 VDC）に対応しており、既存の制御ラインやパネル計器への統合が比較的容易に行えるのが特徴です。その堅牢性と信頼性の高さから、中古市場においても安定した稼働が期待できる定番の機器です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** アルゴン (Ar)
* **最大流量：** 100 SCCM
* **制御範囲：** 2% ～ 100% F.S. (フルスケール)
* **精度：** ±1.0% F.S.
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以下（設定値の±2%以内に到達）
* **動作差圧範囲：** 0.07 MPa ～ 0.27 MPa (10 ～ 40 psid)
* **最大動作圧力：** 1.03 MPa (150 psig)
* **耐圧性能：** 3.45 MPa (500 psig)
* **入出力信号：** 0 ～ 5 VDC
* **電源仕様：** +15 VDC (±5%)、-15 VDC (±5%)
* **外部接続コネクタ：** 9ピン D-sub または 20ピン カードエッジ継手 (仕様による)
* **シール材質：** フッ素ゴム (Viton)
※上記仕様はメーカー公表の標準的なデータに基づく参考値であり、実際の製品個体の状態や校正状況によって異なる場合があります。