中古アルバック Ulvac クライオポンプ CRYO-U8HSP

Name: アルバック Ulvac クライオポンプ CRYO-U8HSP
Brand: アルバック Ulvac
SKU: A122734
Price: 200000 JPY
Availability: InStock

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本体価格(税別、送料別)200,000円

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メーカー: アルバック Ulvac
型式: CRYO-U8HSP
機種: クライオポンプ
管理番号: A122734
引渡・支払: 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

CRYO-U8HSP の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

排気速度(窒素、20℃)	1700 L/sec
排気速度(水素、20℃)	3200 L/sec
排気速度(アルゴン、20℃)	1400 L/sec
排気速度(水、20℃)	4000 L/sec
到達圧力	10^-7 Pa
最大流量(アルゴン)	1.2×10^3 Pa·L/sec
最大流量(水素)	2.4×10^2 Pa·L/sec
排気容量(アルゴン)	2.5×10^8 Pa·L
排気容量(水素)	1.0×10^6 Pa·L
冷却時間(50/60 Hz)	125/115 min
吸気口フランジ	UVG-200 / 6B ANSI / ICF253
圧縮機ユニット	C10T, C10AT
質量	33.2 kg
冷凍機メンテナンス間隔	16000 h

※吸気口フランジは、ULVAC SHOWCASE(日本語)では「UVG-200, 6B ANSI, ICF-253」、アルバック・クライオの英語ページでは「UVG-200, 6B ANSI, UFC-253」と表記が異なる。現品のフランジ形状は実物で確認が必要。

※組み合わせる圧縮機ユニットは、ULVAC SHOWCASE(日本語)では C10T・C10AT、アルバック・クライオの英語ページでは C10・C10ES と記載が異なる。社内保管の CRYO-U8HL 取扱説明書の運転パラメーター表でも、CRYO-U8HSP は複数の圧縮機ユニットの欄に挙がっている。圧縮機は付属しないため、適合は個別に確認が必要。

※外形寸法はメーカーページでは図のみで数値の記載がない。

※排気速度・排気容量はメーカー公表の新品時の値で、中古品の現状性能を示すものではない。

出典: showcase.ulvac.co.jp

アルバック Ulvac CRYO-U8HSP の装置概要　AIによる記述です

スパッタリングプロセス向けに最適化された8インチクラスのクライオポンプです。冷凍機で極低温に冷やしたクライオパネルに気体を凝縮・吸着させて排気する溜め込み式の高真空ポンプで、油を使わないクリーンな真空が得られます。メーカーの説明では、アルゴンの排気容量を従来機種CRYO-U8Hの約2.5倍、水素の排気速度を約1.2倍に高めており、再生までの間隔が長くなることで装置の稼働率向上に寄与するとされています。マルチ運転(最大3台)にも対応します。
公表仕様では、20℃での排気速度は窒素1,700 L/sec、水素3,200 L/sec、アルゴン1,400 L/sec、水4,000 L/sec、到達圧力は10^-7 Pa(10^-9 Torr)、アルゴンの排気容量は2.5×10^8 Pa·L、冷却時間は125/115分(50/60 Hz)です。運転にはヘリウム圧縮機ユニットとフレキシブルホースが別途必要です。組み合わせる圧縮機ユニットの型式は資料によって記載が異なるため、手持ちの圧縮機との適合は確認が必要です。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。